用語集

ヒュームフード（ドラフトチャンバー）の封じ込め性能を評価するために、計測器などで測定（トレース）が可能なガスをヒュームフード内部で発生させ、外部にどのくらい漏洩するのかを測定する試験。現時点では、化学的に安定していて計測が可能なガスとして、SF6（六フッ化硫黄）が使用されています。